MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：25
- 题名/责任者:
- 非制冷红外探测器微结构关键技术研究/黄静著 蔡长龙指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2011
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 64页;28cm
- 个人责任者:
- 黄静 著
- 个人次要责任者:
- 蔡长龙 指导
- 非控制主题词:
- 聚酰亚胺 微结构 牺牲层 图形化 感应耦全等离子体 工艺参数
- 中图法分类号:
- TN215
- 学位论文附注:
- 硕士论文--西安工业大学光电学院,2011
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