MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：38
- 题名/责任者:
- 硅片加工技术/康自卫，王丽主编
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-122-09058-4/CNY30.00
- 载体形态项:
- 240页:图;26cm
- 丛编项:
- 太阳能光伏产业—硅材料系列教材
- 个人责任者:
- 康自卫 主编
- 个人责任者:
- 王丽 主编
- 学科主题:
- 半导体工艺-教材
- 中图法分类号:
- TN305
- 提要文摘附注:
- 本书主要从实际工艺的角度对硅片生产全过程进行了介绍，包括硅单晶的基本特性和晶体结构，硅片生产设备的种类、性能及其使用方法，硅单晶从滚磨与开方、切割、研磨、抛光、清洗一直到检验包装的整个生产过程与管理，其中针对太阳能硅片的生产有适当的介绍。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305/11 | CN1269644 |  内阅图书
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| TN305/11 | CN1269646 | 未央馆
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可借 | 未央馆 | |
| TN305/11 | CN1269645 | 金花馆
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