MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：26
- 题名/责任者:
- 磁约束磁控溅射源的特性测试/雷琳娜著 弥谦指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2010
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 67页;28cm
- 个人责任者:
- 雷琳娜 著
- 个人次要责任者:
- 弥谦 指导
- 非控制主题词:
- 磁约束 磁控溅射源 特性测试 朗缪你探针 等离子体诊断
- 中图法分类号:
- O532.11
- 学位论文附注:
- 硕士论文--西安工业大学光电工程学院,2010
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