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题名/责任者:

磁控溅射镀制Al2O3薄膜及其应用/张继凯著 朱昌指导

出版发行项:

西安:西安工业大学,2010

ISBN及定价:

缴送

载体形态项:

70页;28cm

个人责任者:

张继凯 著

个人次要责任者:

朱昌 指导

非控制主题词:

反应磁控溅射 三氧化二铝薄膜 牢固度 光学性能 微观结构 表面特性 激光损伤

中图法分类号:

O484

学位论文附注:

硕士论文--西安工业大学光电工程学院,2010

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