MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：31
- 题名/责任者:
- 清洗刻蚀源及其应用/王稳奇著 朱昌指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2009
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 55页;28cm
- 个人责任者:
- 王稳奇 著
- 个人次要责任者:
- 朱昌 指导
- 非控制主题词:
- 离子源 电磁场 工作特性 离子能量 均匀性 刻蚀速率
- 中图法分类号:
- O484.4
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电学院，2009
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