MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:32
- 题名/责任者:
- 离子束溅射方法沉积TiO2薄膜的研究/刘佳著 朱昌指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2009
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 57页;28cm
- 个人责任者:
- 刘佳 著
- 个人次要责任者:
- 朱昌 指导
- 非控制主题词:
- 离子束溅射镀膜 TiO2薄膜 沉积速率 光学性能 结晶 表面形貌
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电学院,2009
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