MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：32
- 题名/责任者:
- 红外景物模拟器件悬空微结构的研制/李军鹏著 蔡长龙指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2008
- ISBN及定价:
- /缴送
- 载体形态项:
- 61页;28cm
- 个人责任者:
- 李军鹏 著
- 个人次要责任者:
- 蔡长龙 指导
- 非控制主题词:
- 牺牲层 钛金属膜 非晶硅 微桥结构 工艺研究
- 中图法分类号:
- TN214
- 学位论文附注:
- 硕士论文--西安工业大学光电学院，2008
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