MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：27
- 题名/责任者:
- 利用薄膜转移工艺的传感器制造技术/刘军汉著 刘卫国指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2007
- ISBN及定价:
- /缴送
- 载体形态项:
- 68页;28cm
- 个人责任者:
- 刘军汉 著
- 个人次要责任者:
- 刘卫国 指导
- 非控制主题词:
- 红外热释电探测器 薄膜转移 LiTaO3晶片 键合减薄 介电损耗
- 中图法分类号:
- TP212
- 学位论文附注:
- 硕士论文--西安工业大学光电工程学院,2007
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