MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：31
- 题名/责任者:
- 微电子机械系统/姜岩峰编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-5025-8158-8/CNY28.00
- 载体形态项:
- 194页:图;26cm
- 个人责任者:
- 姜岩峰 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-电子机械-机械系统
- 非控制主题词:
- MEMS
- 中图法分类号:
- TH-39
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微电子机械系统 (MEMS) 相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容, 对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分五个部分, 讲述了MEMS的相关力学量测量方法 ; 介绍了MEMS中的主要工艺等方面内容。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TH-39/64 | 1013189 |  内阅图书
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