MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- PECVD沉积氢化非晶硅的性能研究[硕士论文]/叶林著 刘卫国 教授指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2006
- ISBN及定价:
- /CNY缴送
- 载体形态项:
- 46页;30cm
- 个人责任者:
- 叶林 著
- 个人次要责任者:
- 刘卫国 教授 指导
- 非控制主题词:
- 等离子增强化学气相沉积 氢化非晶硅 应力 电阻温度系数
- 中图法分类号:
- TN304.055
- 学位论文附注:
- 光学工程：西安工业大学：2006
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