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题名/责任者:

RF MEMS应用指南/(美)Vijay K.Varadan，(美)K.J.Vinoy, (美)K.A.Jose著 赵海松，邹江波译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2005

ISBN及定价:

7-121-01750-4/CNY35.00

载体形态项:

300页:图;26cm

并列正题名:

RF MEMS and Their Applications

个人责任者:

(美) Varadan Vijay K. 著

个人责任者:

(美) Vinoy K. J. 著

个人责任者:

(美) Jose K. A. 著

个人次要责任者:

赵海松 译

个人次要责任者:

邹江波 译

学科主题:

微电机-手册

中图法分类号:

TM38

版本附注:

本书简体中文专有翻译出版权由John Wiley & Sons,Ltd.授权出版

书目附注:

有书目(第298-300页)

提要文摘附注:

本书内容包括：微机电系统和射频、MEMS材料和制造工艺、RF开关与微型继电器、MEMS电感和电容、微电机RF滤波器、微机械传输线及部件、微机械天线、RF MEMS的集成与封装。

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