MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：58
- 题名/责任者:
- 磁控溅射制备类金刚石薄膜的研究[硕士论文]/惠迎雪著 杭凌侠高工指导
- ISBN及定价:
- /缴送
- 载体形态项:
- 61页;30cm
- 个人责任者:
- 惠迎雪 著
- 个人次要责任者:
- 杭凌侠高工 指导
- 非控制主题词:
- 磁控溅射 非平衡磁控溅射 类金刚石薄膜
- 中图法分类号:
- TB43
- 学位论文附注:
- 光学工程：西安工业学院：2003
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