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- 题名/责任者:
- 微光机电系统/(日)泽田廉士，(日)羽根一博，(日)日暮荣治著 李元燮译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2005
- ISBN及定价:
- 7-03-013313-7/CNY38.00
- 载体形态项:
- 347页;24cm
- 并列正题名:
- Optical MEMS/MOEMS
- 个人责任者:
- (日) 泽田廉士 著
- 个人责任者:
- (日) 羽根一博 著
- 个人责任者:
- (日) 日暮荣治 著
- 个人次要责任者:
- 李元燮 译
- 学科主题:
- 微光技术-应用-机电系统
- 学科主题:
- 微光技术
- 学科主题:
- 机电系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 提要文摘附注:
- 本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用，即开关、反射镜阵列、显示器等；第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射与折射、干涉、衍射等；第三篇介绍材料、制造、封装等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TH-39/50 | 898795 |  洪庆校区
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