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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：51

题名/责任者:
微机电系统设计与制造/莫锦秋等编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2004
ISBN及定价:
7-5025-5237-5/CNY30.00
载体形态项:
177页:图;26cm
丛编项:
光机电一体化丛书
个人责任者:
莫锦秋 编著
个人责任者:
梁庆华 编著
个人责任者:
汪国宝 编著
学科主题:
机电一体化
中图法分类号:
TH-39
提要文摘附注:
本书介绍了微机电系统及其相关技术，分12章，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了通俗的介绍。
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