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题名/责任者:

硅微机械传感器/( )M. Elwenspoek，( )R. Wiegerink著 陶家渠等译

出版发行项:

北京:中国宇航出版社,2003

ISBN及定价:

7-80144-606-2 精装/CNY35.00

载体形态项:

306页;21cm

并列正题名:

Mechanical Microsensors

个人责任者:

( ) 埃尔文斯波克 (Elwenspoek, M.) 著

个人责任者:

( ) 维格英克 (Wiegerink, R.) 著

个人次要责任者:

陶家渠 (微电子) 译

学科主题:

传感器

非控制主题词:

硅微机械传感器

中图法分类号:

TP212.12

一般附注:

并列题名：Mechanical Microsensors

版本附注:

著作权人授权出版

提要文摘附注:

本书内容包括了MEMS介绍、微机械加工工艺、膜和梁的力学、机械变形换能、力和压力传感器、加速度和角速度传感器、流体传感器、谐振传感器、接口电路，以及MEMS封装。

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