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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:30

题名/责任者:
软X射线与极紫外辐射的原理和应用/(美)阿特伍德(Attwood, D.)著 张杰译
出版发行项:
北京:科学出版社,2003
ISBN及定价:
7-03-010813-2/CNY59.00
载体形态项:
13,458页:照片;24cm
个人责任者:
阿特伍德 D. 著
个人次要责任者:
张杰
学科主题:
X射线-研究
学科主题:
紫外辐射-研究
学科主题:
X射线
学科主题:
紫外辐射
中图法分类号:
O434
提要文摘附注:
本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性,讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用,并提供大量参考资料进行辅助讲述。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
O434/2 553786   密集库1     可借
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