MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：23
- 题名/责任者:
- 微传感器与微执行器全书/(美)科瓦奇(Kovacs, G.T.A.)著 张文栋译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-03-010565-6 精装/CNY78.00
- 载体形态项:
- 29,673页;24cm
- 个人责任者:
- 科瓦奇 G.T.A. 著
- 个人次要责任者:
- 张文栋 译
- 学科主题:
- 微型-传感器
- 学科主题:
- 微型-执行器
- 学科主题:
- 微型
- 学科主题:
- 传感器
- 学科主题:
- 执行器
- 中图法分类号:
- TP212
- 中图法分类号:
- TH86
- 一般附注:
- 并列题名：Micromachined Transducers Sourcebook
- 出版发行附注:
- 与美国麦格劳－希尔教育出版集团合作出版
- 提要文摘附注:
- 本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。
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