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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:22

题名/责任者:
微机械电子系统及其应用/刘广玉, 樊尚春, 周浩敏编著
出版发行项:
北京:北京航空航天大学出版社,2003
ISBN及定价:
7-81077-183-3/CNY16.00
载体形态项:
192页;24cm
个人责任者:
编著 刘广玉
个人责任者:
樊尚春 编著
个人责任者:
周浩敏 编著
学科主题:
微型-机电系统
中图法分类号:
TP271.2
一般附注:
高等学校通用教材
提要文摘附注:
本书综合了当前公开发表的大量有关微机电系统(MEMS)的科技文献和作者近几年研究工作的成果。主要介绍当今微机电系统的核心内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器、微机械弱信号检测与处理6部分。全书内容丰富,图文恰当,新颖实用。
使用对象附注:
读者对象:高校有关专业研究生和高年级大学生,检测与控制等徽工程领域的工程技术人员
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