MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：54
- 题名/责任者:
- 电子束离子束技术/赵玉清编著
- 出版发行项:
- 西安:西安交通大学出版社,2002
- ISBN及定价:
- 7-5605-1085-X/CNY28.00
- 载体形态项:
- 254页;23cm
- 丛编项:
- 新世纪本科生系列教材
- 个人责任者:
- 赵玉清 编著
- 学科主题:
- 电子束-高等学校-教材
- 学科主题:
- 离子束-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- O463
- 提要文摘附注:
- 本书对有关电子束离子束的产生、引出、加速和偏转的工作原理，物理过程和主要部件进行了介绍(第1章，第2章，第3章和第4章)，介绍了带电粒子束与固体表面相互作用的原理和产生的结果，以及电子束离子束技术在微电子领域的应用(第5章，第6章和第7章)，最后介绍了最近几年发展十分迅速的、与纳米技术息息相关的扫描隧道显微镜技术（第8章）。
- 使用对象附注:
- 读者对象：物理电子技术和光电子技术、微电子技术专业本科生、硕士生，电子束和离子束工程技术人员
| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| O463/20 | 392528 |  密集库1
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| O463/20 | 392530 | 密集库1
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| O463/20 | 392535 | 密集库1
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| O463/20 | 392533 | 洪庆校区
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| O463/20 | 392536 | 洪庆校区
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| O463/20 | 392527 | 内阅图书
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| O463/20 | 392534 | 未央馆
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| O463/20 | 392529 | 金花馆
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| O463/20 | 392531 | 金花馆
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| O463/20 | 392532 | 金花馆
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