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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:48

题名/责任者:
薄膜材料制备原理、技术及应用/唐伟忠著
版本说明:
2版
出版发行项:
北京:冶金工业出版社,2003重印
ISBN及定价:
7-5024-3097-0/CNY28.00
载体形态项:
323页:图;21cm
个人责任者:
唐伟忠
学科主题:
薄膜制品-制备
学科主题:
薄膜制品
中图法分类号:
TQ320.72
提要文摘附注:
本书共分七部分,内容包括薄膜制备的真空技术基础、薄膜的物理气相沉积、薄膜的化学气相沉积、薄膜的生长过程和结构、薄膜材料的表征方法及应用。
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