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题名/责任者:

等离子体与成膜基础/(日)小沼光晴著 张光华编译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,1994.6

ISBN及定价:

7-118-01141-X/$11.40

载体形态项:

238页;19cm

编目员补充题名:

成膜

个人责任者:

小沼光晴 著

个人次要责任者:

张光华 编译

学科主题:

等离子体物理学∶薄膜物理学

学科主题:

薄膜物理学∶等离子体物理学

中图法分类号:

O53

中图法分类号:

O484

题名责任附注:

小沼光晴,日本著名学者、博士,德国斯图加特Max-Planck学会固体研究所任职

提要文摘附注:

分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。

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