MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：56
- 题名/责任者:
- 等离子体与成膜基础/(日)小沼光晴著 张光华编译
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1994.6
- ISBN及定价:
- 7-118-01141-X/$11.40
- 载体形态项:
- 238页;19cm
- 编目员补充题名:
- 成膜
- 个人责任者:
- 小沼光晴 著
- 个人次要责任者:
- 张光华 编译
- 学科主题:
- 等离子体物理学∶薄膜物理学
- 学科主题:
- 薄膜物理学∶等离子体物理学
- 中图法分类号:
- O53
- 中图法分类号:
- O484
- 题名责任附注:
- 小沼光晴,日本著名学者、博士,德国斯图加特Max-Planck学会固体研究所任职
- 提要文摘附注:
- 分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| O53/6 | 206348 |  内阅图书
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可借 | ||
| O53/6 | 206349 | 未央馆
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借出-应还日期：2024-09-03 | 未央馆 | |
| O53/6 | 206350 | 金花馆
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可借 |
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